①電容壓力計(jì)是可以測(cè)量壓力和真空度的機(jī)電式壓力計(jì)。電容表將薄膜中的壓力調(diào)制運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成與壓力成比例的電信號(hào)。壓力傳感器是薄的隔膜，通過(guò)入口管暴露在壓力或真空下。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。過(guò)程與參考腔之間的壓力差會(huì)使隔膜稍微偏斜，從而改變了隔膜與電極之間的距離。該距離的變化會(huì)在隔膜和電極之間產(chǎn)生電容變化，從而產(chǎn)生與壓力變化成比例的電信號(hào)。

②AA07A/AA08A傳感器非常適合用于將超純氣體供入關(guān)鍵過(guò)程系統(tǒng)的輸送系統(tǒng)。它們暴露在氣流中的濕表面的表面光潔度比Ra好5µin。這些換能器具有出色的干燥特性，并且在背景以上沒(méi)有顆粒。在制造和組裝后，將它們用超凈氮?dú)獯祾撸缓笤?00級(jí)環(huán)境中進(jìn)行兩次裝袋。

③AA07A/AA08A中的傳感器采用全I(xiàn)ncoloy®結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)較高的過(guò)壓容限，從而減少了由于管路壓力峰值而引起的誤差。高爆破壓力等級(jí)有助于整體系統(tǒng)安全。在現(xiàn)有的氣柜和處理系統(tǒng)上，由于體積小，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的端到端長(zhǎng)度以及這些傳感器的電氣接口選擇，使得更換普通百分表或性能較低的傳感器變得容易。